钽酸锂黑片
在CO2和H2混合气氛下，通过化学还原成功地制备了自由燃烧的黑色LiNbO3和LiTaO3晶片。测量了黑色LiNbO3和黑色LiTaO3晶片的体电导率和光学透过率。实验结果表明，经过压缩后的晶圆的热释电效应基本消除，透过率显著降低。还原过程不会改变LN和LT晶片的居里温度或压电性能，而会中和电荷，即使电势瞬间发生。
规格特性
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材料 |
3" 4" 6" 钽酸锂黑片 声学级 |
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切型 |
X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ or Customized |
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居里温度 |
605°C±3°C |
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还原 |
标黑 - 0.9E+11 ~ 9.0E+11 超黑 - 1.0E+10 ~ 9.0E+10 |
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表面处理 |
单面抛光、双面抛光、研磨 |
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厚度 |
0.10/0.25/0.35/0.50/1.00 mm |
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TTV |
< 1~5µm |
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BOW |
± (25µm ~40um ) |
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Warp |
<= 35µm |
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LTV (5mmx5mm) |
<1.5 um |
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PLTV(<0.5um) |
≥98% (5mm*5mm) with 2mm edge excluded |
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边缘处理 |
按照 SEMI M1.2@with GC800# C型 |
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定位边 |
按直径定制 |
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主面 Ra |
粗糙度 Ra<=5A |
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背面处理 |
粗糙度 Ra:0.5-1.0µm GC#1000 |
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裂缝、锯痕、污点 |
无 |
